清华大学快速退火炉验收

清华大学采购的德国尤尼坦RTP-100真空快速退火炉本周完成了安装和验收，正式投入清华大学科研实验工作。
RTP-100是德国Unitemp的主要型号之一，支持4英寸的样品尺寸，150度/秒的升温速度，1200度工艺温度，可最多通入四路工艺气体(MFC控制)；RTP-100采用西门子人机界面/触摸自动控制，易于使用，适合研发使用。

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